基于玻璃的流量傳感器研究
2011/6/23 8:48:00
熱式微型流量傳感器是利用外熱源對傳感器加熱電阻進行加熱,氣體流動時會改變加熱電阻及其周圍溫度分布,通過測量加熱電阻或者加熱電阻上下游的溫度變化量來反映氣體的質量流量[ 1- 5 ]。熱式微型流量傳感器分為熱線損失型、 熱膜溫差型和熱脈沖型。由于熱線損失型氣體流量傳感器存在一致性差,難以進行批量生產; 低流速時熱紊亂大,熱線抗污染腐蝕能力差;測量中有電子噪聲,導致它的響應速度下降等因素限制了它的進一步發展[ 6 - 7].
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